HMDS镀膜机

  
HMDS镀膜机  
通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。  
HMDS镀膜机  
1)设备外壳采用医用级不锈钢304不锈钢材质制作，内胆为不锈钢316L材料制成；采用C型不锈钢加热管,均匀分布在内胆外壁，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置；采用钢化、防双层玻璃观察窗,便于观察工作室内物品实验情况。2)箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内保持高真空度。3)采用微电脑PID控制,系统具有自动控温,定时,超温报警等,采用LCD液晶显示,触摸式按钮,简单易用,性能稳定.4)智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序、温度、真空度及每一程序时间。5)HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，使真空箱密封性能*，确保HMDS气体无外漏顾虑。6)整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作，无发尘材料，适用百级光刻间净化环境。  
技术参数  
1、设备名称  
2、设备型号  
JS-HMDS90  
3、设备主要技术参数  
3.1工作室尺寸  
450×450×450（mm）可选其他数据  
3.2材质  
外箱采用304不锈钢，内箱采用316L医用级不锈钢  
3.3温度范围  
RT+10-250℃  
3.4温度分辨率  
0.1℃  
3.5温度控制精度  
±0.3%  
3.6真空度  
≤133pa（1torr）  
3.7洁净度  
class100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境  
3.8电源及总功率  
AC220V±10%/50HZ总功率约2.0KW  
3.9控制仪表  
人机界面  
3.10搁板层数  
2层  
3.11HMDS流量控制  
可控制HMDS流量  
3.11真空泵  
油泵或干泵  
3.12保护装置  
漏电保护，过热保护

更多详情咨询：
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