多功能试样表面处理机

多功能试样表面处理机是为扫描电镜和电子揉针等进行试验制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氢气保护下进行等离子处理。对于实验室此款设备是*的镀膜设备。  
技术参数  
输入电源  
208-240VAC,10A,50/60Hz,单相  
功率  
<2000W(包括真空泵)  
输出电压(DC)  
AC10Vzui大电流100A（对于真空镀膜）  
DC3KV,10mA（对于等离子溅射）  
真空腔体  
有一玻璃钟罩：250mmdia.x340mm  
（2）玻璃处理室：  
玻璃罩A:内径８８mm×高度１４０mm（用于真空镀膜)  
玻璃罩B:内径８８mm×高度５７mm（用于等离子溅射）  
镀膜装置  
对于制膜，仪器可设置三种模式：  
（1）一种模式专门针对于蒸发镀膜（下方左图）  
此仪器可以同时蒸镀两种材料，其zui高温度可以达到1800℃  
采用钨丝进行加热  
（2）蒸碳镀膜模式（下方中图）  
仪器中包括有两组碳棒  
（3）直流等离子溅射模式（下方右图）仪器中包含有一金靶（38mmDiax0.2mmt）  
可在本公司选购其他材质靶材(请点击查看)  
ThermalEvaporationCarboncoatingPlasmasputtering  
样品台  
样品台可以自动转动（见做图）  
样品台尺寸：40mm  
仪器上安装有一电动快门用于控制蒸镀的开始与停止（见右图）  
真空泵  
仪器下端安装有一机械泵和分子泵  
抽速:600L/S  
真空度:10-6torr  
设备工作环境温度:<32°C
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