射频等离子磁控溅射镀膜仪

射频等离子磁控溅射镀膜仪是一款小型的射频（RF）等离子体磁控溅射镀膜仪系统，系统中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF电源、2"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜及非金属薄膜，它是一款物美价廉的实验帮手。  
我们用此设备得到择优取向的ZnO薄膜  
技术参数  
输入电源  
220VAC50/60Hz,单相  
800W(包括真空泵）  
等离子源  
一个300W，13.5MHz的射频电源安装在移动柜内  
(点击图片查看详细资料）  
磁控溅射头  
一个2英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接  
靶材尺寸:直径为50mm,zui大厚度6.35mm  
一个快速挡板安装在法兰上（手动操作，见图左3）  
溅射头所需冷却水：流速10ml/min（仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机）  
同时可选配1英寸溅射头  
真空腔体  
真空腔体：160mmODx150mmIDx250mmH，采用高纯石英制作  
密封法兰:直径为165mm.采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封  
一个不锈钢网罩住整个石英腔体，以屏蔽等离子体  
真空度：10-3Torr（采用双极旋片真空泵）  
10-5torr（采涡旋分子泵）  
载样台  
载样台可旋转（为了制膜更加均匀）并可加热  
载样台尺寸：直径50mm（zui大可放置2英寸的基片）  
旋转速度：1-20rpm  
样品的zui高加热温度为700℃，(短期使用，恒温不超过1小时)，长期使用温度500℃  
控温精度+/-10℃
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