在线膜厚监测系统

一、概述

SR-i 在线膜厚监测装备采用行业*先微纳米薄膜光学测量创新技术，快速、连续监测工业产线上各式薄膜的膜厚以及光学常数，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

二、产品特点

反射膜厚测头与电控系统结构示意图

SR-i在线膜厚监测系统支持编辑测量路径，连续监测并导出数据图表

可在线模块化定制，结构紧凑、布点灵活、集成各式在线设备中

三、产品应用

SR-i在线膜厚监测系统广泛应用于工业产线级片对片，卷对卷薄膜膜厚连续在线自动化监测。

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