光学薄膜测厚仪

一、概述

IRE-200膜厚测试仪是一款超高精度的外延层厚度测量设备，利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析，主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。

单抛/双抛等多种模式选择支持；

自定义mapping功能；

高检测速率：Si标准外延片测量25点≤3min；

高检测精度：≤0.01um。

二、产品特点

1、IRE-200膜厚测试仪采用高性能光源模块，光源稳定性好，信噪比高，覆盖范围7800-350cm-1。

2、搭配自主研发算法软件，可精准快速地获取测量结果。

3、搭配自主研发的mapping运动台，定位精准、测量速度快。

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