mask aligner半自动光刻机

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品牌: 科睿设备
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最后更新: 2023-01-12 13:14
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产品详细说明
mask aligner半自动光刻机

光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统,光刻机,紫外曝光机等;

MIDAS为全球*的半导体设备供应商,多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产,并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。

主要特点:

-光源强度可控;

-紫外曝光,深紫外曝光(Option);

-系统控制:手动、半自动和全自动控制;

-曝光模式:真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式,投影模式;

-真空吸盘范围可调;

-技术:可双面对准,可双面光刻,具有IR和CCD模式

-双CCD显微镜系统,*大放大1000倍,显示屏直接调节,比传统目镜对准更方便快捷,易于操作。

-特殊的基底卡盘可定做;

-具有楔形补偿功能。
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